智能阀门&阀门弹簧开启压力解决方案

设备工作流程说明 

• 放置产品 → 正压检测 → (合格) →负压检测 → 显示结果/报警 

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• 双工位、双工位互不干扰、可独立/同时测试 

• (对于单个工位)正负压双通道、双通道气密性互不影响 

• 拥有数字和曲线显示两种方式。可以设定合格判定范围 

• I/O交互和232通讯 

• 控制管路使用铜管 

• 流量控制需要恒流量自动控制 

设备关键参数 

技术规格书参数 

• 有效分辨率≤1pa 

• 压力控制范围(包括调节范围和检测范围):- 80 Kpa ~ +500Kpa 

• 流量控制范围(包括调节范围和检测范围):±0~±200sccm 

• 精度 0.1%F.S. 

• 分辨率 1pa 

• 动态恒流量控制(数控气压、逐步提高压力) 

• 在相对湿度≤85%RH的环境下正常工作 

• 在温度—5°C~45°C的环境下正常工作 

样品测试标准 

• AP31 

• 正压恒流 10L/h 166.6sccm 开启压力140kpa~160kpa G 

• 负压恒流3L/h 50sccm 开启压力0~-10kpa 

• 流量:检测、控制、流量和压力的关系 

• EX21 

• 正压恒流 10L/h 开启压力30~40kpa 

• 负压恒流 3L/h 开启压力0~-10Kpa 

• G A D 101.3Kpa A 0kpaG 

• 0kpaA -100kpaG 

• D针对于传感器 2接头 返回压力差 ±G 

设备工作参数 

该样品实际测试需要的参数(最低标准) 

• 有效分辨率≤1pa 

• 压力控制范围(包括调节范围和检测范围):- 50 Kpa ~ +200Kpa 

• 流量控制范围(包括调节范围和检测范围):±0~±200sccm 

• 分辨率 1pa 

• 动态恒流量控制 

测试原理讲解 方案一 

• 一个传感器用于检测气压变化过程 

• 爆裂点是一个极点

• 记录气压的压力降/突变

• 记录后进行比较 

  

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• 测试原理讲解 方案二 

• 一个传感器检测气压的变化过程

• 一个传感器用于检测变化点(时间/触发条件) 

• 记录气压曲线(二维数组/队列/单向表)

• 确认开启后再进行分析

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设计测试 

• 1.压流关系 

  气源压力 160Kpa 4mm 流量? 

• 2.检测流量 

  流量传感器(最大耐压180kpa) 

  压力差算流量 

• 3.控制流量 

  流量变送器、比例阀(DA\PID)恒流量 

  逐步提升压力(压差)控制流量 -> 精密/高速DA输出 

传感器选型 

• 压力传感器 

• 一个负压MPX4250 

• 一个正压精度(200~300kpa以下)MS4525 

• 一个正压量程 MS4525SS5A100G/AP 

• 一个精度(-80~250KpaG)NXP/TE 

• 一个正压量程(0~600kapG/A) 

• 流量传感器(暂时不考虑)